【法规名称】
【颁布时间】 2002-10-16
【效力属性】 已修正
【法规编号】 43058 什么是编号？
【正 文】
第2页 半导体制造业空气污染管制及排放标准
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[接上页] │硝酸、盐酸、│各污染物排放削减率应大于九十五％或各污染│ │磷酸及氢氟酸│物工厂总排放量应小于○．六 kg/hr。 │ ├──────┼────────────────────┤ │硫酸 │排放削减率应大于九十五％或工厂总排放量应│ │ │小于○．一 kg/hr。 │ └──────┴────────────────────┘ 硝酸、盐酸、磷酸、氢氟酸及硫酸等之废气若以湿式洗涤设备处理，无法证明符合前项标准时，其控制条件应符合下列之规定：一设备洗涤循环水槽之 pH 值应大于七、润湿因子应大于○．一 m2/hr、填充段空塔滞留时间应大于○．五秒及填充物比表面积应大于九○m2/m3。 二其他可证明同等处理效果或较优之控制条件向中央主管机关申请认可者。第 5 条 依前条规定收集至污染防制设备处理之废气，其流量计及空气污染物浓度连续自动监测器设置规定如下： 一污染防制设备之废气导入处或排放口应设置流量计。 二挥发性有机物年用量大于五○吨之工厂其挥发性有机物防制设备之废气排放口应设置浓度监测器。 三挥发性有机物工厂总排放量大于等于○．六kg/hr 者，其挥发有机物防制设备之废气导入处及排放口应设置浓度监测器。 四流量计及浓度监测器之有效每季监测率应大于八○％，每年至少以标准检测方法比测一次，比测时间每次至少二小时，所设置之流量计及浓度监测器所得之结果应以上次比测结果修正之。 未依前项规定设置流量计及污染物浓度监测器者，得提出其他可证明其排放污染物符合前条规定之替代监测方案，报请中央主管机关认可。 第 6 条 挥发性有机物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、盐酸、磷酸、氢氟酸等之纪录、保存、检测与申报规定如下： 一空气污染物输入量 (以溶剂或其他型式输入制程之量) 、输出量 (随废溶剂、废弃物、废水或其他型式输出制程之量) 、污染防制设备削减量等资料应每月记录。 二污染防制设备为酸碱洗涤吸收设施者，应记录保养维护事项，以确保润湿因子及填充段空塔滞留时间符合设施规范，并每日记录各洗涤槽洗涤循环水量及 pH 值。 三污染防制设备为清水洗涤吸收设施者，应记录保养维护事项，以确保润湿因子及填充段空塔滞留时间符合设施规范，并每日记录各洗涤槽洗涤循环水量及废水排放流量。 四污染防制设备为冷凝器者，应每月记录冷凝液量及每日记录冷凝器出口温度。 五污染防制设备为生物处理设施者，应记录保养维护事项，以确保该设施之状态适合生物生长代谢，并每日记录处理气体风量、进口温度及出口相对湿度。 六污染防制设备为热焚化炉者，应每日记录燃烧温度。 七污染防制设备为触媒焚化炉者，应记录触媒种类、触媒床更换日期，并每日记录触媒床进、出口气体温度。 八以其他污染防制设备处理者，应记录保养维护事项，并每日记录主要操作参数。 九挥发性有机物之污染防制设备设有浓度监测器者，其去除率或排放量应根据自动监测结果之日平均值以上次比测结果修正后计算，并每日记录。 一○挥发性有机物之污染防制设备未设有浓度监测器者，其处理前后之浓度及排放量每年至少需检测一次，检测时需记录当时制程及处理设备之操作条件。每次检测至少八小时，检测报告应含所测得浓度之测值、小时平均值及总平均值。计算防制设备去除率及排放量时，应采用所测得浓度之总平均值。 一一三氯乙烯之污染防制设备处理前后之浓度及排放量每年至少需检测一次，检测时需记录当时制程及处理设备之操作条件。每次检测至少八小时，每小时至少检测三个样品，检测报告应含所测得浓度之各测值、小时平均值及总平均值。计算防制设备去除率及排放量时，应采用所测得浓度之总平均值。 一二第一款至第十一款之使用、操作及检测纪录需保存至少二年，并依中央主管机关规定之格式于每年一、四、七、十月月底前向当地主管机关申报上一季之纪录。主管机关得适时调整申报内容及频率。 第 7 条 空气污染物测定方法依中央主管机关公告之标准检测方法。 第 8 条 八十八年一月六日前设立之半导体制造业，应于八十八年四月七日前依中央主管机关规定之格式向中央及当地主管机关提出污染防制计划书，并自八十九年七月一日起应符合本标准第四条、第五条及第六条之规定。 第 9 条 本标准未规定事项适用其他相关之规定。 第 10 条 本标准自发布日起施行。 |
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