【法规名称】
【颁布部门】 工业和信息化部
【发文字号】 工信部科[2011]320号
【颁布时间】 2011-07-01
【实施时间】 2011-07-01
【效力属性】 有效
【法规编号】 560101 什么是编号？
【正 文】
第14页 产业关键共性技术发展指南(2011年)
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[接上页] 5. 医疗器械国产化核心部件及关键技术 主要技术内容： 数字化x射线成像设备的关键部件平板探测器制造技术；x射线球管制造技术；大功率高频x射线发生器制造技术；高性能超声成像探头制造技术；检验分析设备样本液体传送和处理精密机械装置技术；呼吸机麻醉机精密气体流量和压力传感器、电子流量计技术；口腔和精密外科手术器械长寿命高速气动和电动马达技术等。 五、电子制造业 （一）集成电路 1. 集成电路大规模生产先进工艺技术 主要技术内容： 65nm高性能、低功耗、射频cmos工艺平台开发；45～40nm低功耗和高性能cmos产品工艺。 2. 高压高功率电力电子器件工艺技术 主要技术内容： 功率器件后道薄片工艺研究；功率器件的少子寿命控制技术；高压、大功率器件前道制造工艺研究；高压大功率igbt器件、frd器件、mosfet器件的结构研究；器件和工艺仿真技术；提高高压大功率igbt、frd、mosfet器件可靠性和鲁棒性的相关技术。 3. 家用电器变频控制系统器件技术 主要技术内容： igbt管芯的设计技术研究，igbt管芯的制造技术研究，ipm模块的设计技术研究，ipm模块的封装技术研究。 （二）平板显示 1. tft-lcd共性技术 主要技术内容： 进一步提升液晶面板的透过率和开口率，增加产品的附加值；加快高效节能背光源的研发和应用，在确保产品性能的前提下，简化生产工序，降低生产成本。 2. pdp共性技术 主要技术内容： 围绕高光效技术（高能效、低成本）、高清晰度技术（3d、动态清晰度、超高清晰度）以及超薄技术方面进行相关技术研发；研究新材料、新工艺、新驱动波形、新型驱动电路与控制软件技术来提高pdp产品性能。 3. 有机发光显示器oled共性技术 主要技术内容： pm-oled技术；大尺寸am-oled相关技术和工艺集成；氧化物基等tft的研发及其在am-oled中的应用技术；ltps技术；高性能有机发光材料、蒸镀掩模板及驱动ic等技术。 4. 低温多晶硅驱动技术 主要技术内容： 准分子激光退火（ela）技术；金属诱导晶化（mic）技术；固相结晶化（spc）技术；氧化物tft技术。 （三）太阳能光伏 1. 万吨级多晶硅生产技术 主要技术内容： 以降低生产能耗，提高副产物综合利用率，降低生产成本为目标，开发新型节能还原炉，研究多对棒还原炉，提高三氯氢硅转化率，开发流化床生产技术，提高副产物二氯二氢硅、四氯化硅的回收水平，开发热氢化和冷氢化技术。 2. 高效晶硅电池制造技术 主要技术内容： 以提高电池转换效率，降低生产成本为目标，开发选择性发射极、背面接触、二次丝网印刷、高效绒面、正反面钝化、正面玻璃镀膜等技术。 3. 硅基薄膜电池制造技术 主要技术内容： 提升硅基薄膜电池转换效率，包括非晶硅单双节电池、非晶/微晶叠层电池、多节硅基薄膜电池等技术，降低薄膜电池衰减率，提高微晶沉积速率，开发大尺寸沉积技术，和沉积均匀性技术等。 4. 光伏设备 主要技术内容： 研究开发氢化炉、还原炉、多线切割机、丝网印刷机、烧结炉，薄膜电池所需的pecvd等设备技术。 5. 光伏辅料 主要技术内容： 研究开发切割线、光伏背板、tco玻璃、银铝浆等产品的制造技术。 （四）动力电池及超级电容器 1. 高效能、高一致性电池 主要技术内容： 一致性单体电池的自动化生产技术；电池组件、电池包与供电系统优化设计技术。 2. 超级电容器技术 主要技术内容： 提高超级电容器的比功率与比能量的材料技术和结构设计技术；超级电容器与电池混合应用系统的研究。 （五）led照明 1. led外延及芯片制造共性关键工艺技术 主要技术内容： 红光led的衬底转移工艺技术，包括具有腐蚀终止层的高内量子效率外延片的生长技术，低欧姆接触透明电极的制作技术，高反射金属膜的制作技术，si/gaas衬底转移的金属键合技术，si/gaas衬底转移的化学剥离技术，金属键合型晶片的切割技术，金属键合型芯片全点测及分选技术； 蓝光led衬底转移工艺技术，包括图形衬底的制作技术，高内量子效率外延片的生长技术，低欧姆接触透明p电极的制作技术，低欧姆接触n电极的制作技术，表面粗化技术，衬底转移的剥离技术，衬底转移的金属键合技术，金属键合型晶片的切割技术，金属键合型芯片全点测及分选技术。 |
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