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[接上页] │11││硅片│硅片(晶片)│5.01 │38180019│硅片/调整片儿/晶元│WAFER/DIE │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │12││││5.02 │38180019│辅助(挡控)硅片│(Dummy)WAFER│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │13││││5.03 │28046110│多晶硅(硅棒)││ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │14││││5.04 │38180090│硅圈,晶元│Wafer │ ├──┤├────┼────────┼───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │15││特殊气体│高纯度单质气体│ 6.01│28011000│氯气│CHLORINE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │16│││高纯度混合气体│6.02 │28042100│氩气│ARGON │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │17│││高纯度刻蚀气体│6.03 │28042900│氙气│XENON │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │18│││高纯度成膜气体│6.04 │28042900│氦气│HELIUM│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ ││││其它高纯度特殊气│6.05 │28043000│氮气│NITROGEN│ │19│││体│││││ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │20││││6.06 │28111990│溴化氢│HYDROGENBROMIDE │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │21││││6.07 │28112100│二氧化碳│CARBONDIOXIDE │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │22││││ 6.08│28112900│一氧化碳│CARBONMONOXIDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │23││││ 6.09│28112900│一氧化二氮(笑气)│NITROUSOXIDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │24││││ 6.10│28510090│二氯(甲)硅烷│DICHLOROSILANE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │25││││ 6.11│28121049│三氯化硼│BORONTRICHLORIDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │26││││ 6.12│28121049│三氟化氯│CHLORINETRIFLUORIDE │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │27││││ 6.13│28129000│三氟化硼│BORONTRIFLUORlDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │28││││ 6.14│28121049│六氟化硫│SULFURHEXAFLUORIDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │29││││ 6.15│28129000│三氟化氮│NITROGENTRlFLUORlDE │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │30││││ 6.16│28141000│氨气│AMMONIA │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │31││││ 6.17│28161900│六氟化钨│TUNGSTENHEXAFLUORIDE│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │32││││ 6.18│38249090│硅烷氦气混合气体│SILANE/HELlUM│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ |