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[接上页] │55││││ 6.41│38249090│磷化氢/氦气│PH3/He │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │56││││ 6.42│38249090│硅甲烷/磷化氢混合气体│PH3/SiH4 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │57││││ 6.43│28121049│六氯化硅│Si2C16│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │58││││ 6.44│28500000│六氢化硅│Si2H6 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │59││││ 6.45│29310000│三甲基硅烷│SiH(CH3)3 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │60││││ 6.46│38249090│四氢化硅/氦气│SiH4/HE2 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │61││││ 6.47│38249090│乙硼烷/氮气混合气体│Diborane/Nitrogen(B2H6/N2)│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │62││││ 6.48│38249090│氟/氮气混合气体│Flourine/Nitrogen│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │63││││ 6.49│38249090│氦气/氮气混合气体│Helium/Nitrogen│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │64││││ 6.50│28061000│氯化氢│Hydrogen Chloride │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │65││││ 6.51│28121049│四氟化硅│Silion│ ││││││││Tetrafiuoride(SiF4) │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │66││││ 6.52│28480000│磷化氢│Phosphine │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │67││││ 6.53│28061000│氯化氢│Halocarbon│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │68││││ 6.54│38249090│高纯度砷烷/氢气│ASH3/H2│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │69││││ 6.55│38249090│乙硼烷/氦气│B2H6/He│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │70││││ 6.56│28129000│高纯度氟化硼│BF3 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │71││││ 6.57│28500000│砷化氢│Arsine│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │72││││ 6.58 │38249090│氢气氮气混合气│H2/N2│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │73││││ 6.59 │38249090│磷化氢硅烷混合气│PH3/SiH4 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │74││││ 6.60 │29033090│六氟乙烷│C2F6│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │75││││ 6.61│29033090│四氟乙烷│CF4 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │76││││ 6.62│29033090│氟甲烷│CH3F│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │77││││ 6.63│28111100│氟化氢│HF│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ |