【法规名称】
【颁布部门】 财政部
【发文字号】 财税[2002]136号
【颁布时间】 2002-08-24
【实施时间】 2002-08-24
【效力属性】 有效
【法规编号】 246288 什么是编号？
【正 文】
第5页 财政部关于部分集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品税收政策的通知
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[接上页] │78││││ 6．64│28500000│氢化砷│ASH3│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │79││││ 6．65│28129000│氟化硼│BF3 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │80││││ 6．66│28261990│氟化锗│GeF4│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │81││││ 6．67│38249090│氧气氦气(氦气氧气)混合气体│O2／He│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │82││││ 6．68│38249090│磷烷氮气混合气│PH3／N2 │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │83││││ 6．69│38249090│氧气氮气混合气体│02／N2│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │84││││ 6．70│28112900│一氧化氮│NO│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │85││││ 6．71│38249090│硅烷氩气混合气│SiH4，N5(20％)／Ar│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │86││││ 6．72│38249090│乙硼烷氢气混合气│B2H6／H2│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │87││││ 6．73│28510090│二氯二氢硅││ ├──┤├────┼────────┼───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │││光刻工艺│显影液│ 7．01│37079090│显像液，显影液(光刻显像剂)│Developer,Tetramethyl Ammonium│ │88││用化学品│││││Hydroxide Solution，│ ││││││││(Developer Series)│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │89│││光刻胶│ 7．02│37071000│光刻胶│PhotoreSis│ ├──┤││防反射薄膜生成液├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │││││ 7．03│38249090│防反射薄膜生成液│CVD成膜用／防反射薄膜成膜用 │ │90│││││││／BARCDUV／BARC │ │││││││││ │││││││││ ├──┤││稀释液├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │91││││ 7．04│38140000│稀释液(光刻显像稀释剂)│PM Thinner(THINNER series)│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │92││││ 7．05│38140000│(净化)稀释液│Cleaning Solution Thinner │ ├──┤││聚酰亚胺原液├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │93│││增粘剂│7．06 │39119000│聚酰亚胺原液(感光性聚酰亚胺)│Sumiresin Excel(HP／Photo │ ││││││││sensitive)polymide│ │││││││││ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │94││││7．07 │29310000│双(三甲基硅)胺│HexamethyldisilazaneOAP │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │95││││ 7．08│29141900│甲基戊基酮│Methyl Amyl Keton │ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │96││││ 7．09│29337900│N—甲基—2—吡咯烷酮│N—Methyl—2—Pyrolidone│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ │97││││ 7．10│34059000│氧化铝研磨浆│Slurry│ ├──┤││├───┼────┼────────────────┼───────────────┤ |
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